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多級爪式干式真空泵是上世紀(jì)末快速發(fā)展成熟的新型(變?nèi)莘e)真空泵，由于其如下突出優(yōu)點(diǎn):泵腔內(nèi)無油、對被抽容器沒有油污染、并能直排大氣、單泵就能達(dá)到3 Pa等，在電子行業(yè)得到了非常廣泛的應(yīng)用，替代了油封機(jī)械泵以及滑閥真空泵。由于其性能卓越而越來越廣泛的應(yīng)用于航天、核工業(yè)、化工、制藥、環(huán)保等行業(yè)，并呈逐年上升的趨勢。其主要的結(jié)構(gòu)型式有螺旋型和反爪式，其結(jié)構(gòu)各有優(yōu)勢，相比較而言反爪式比螺旋型優(yōu)勢更明顯。但由于其結(jié)構(gòu)限制，泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小，不能夠滿足化工和制藥等大抽速的需要。
     深圳市創(chuàng)艦科技發(fā)展有限公司結(jié)合以上兩種結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢，推出螺旋反爪結(jié)構(gòu)，達(dá)到更少材料、更低能耗、更好維護(hù)、更大抽速的效果，而且能適合化工、制藥、環(huán)保等領(lǐng)域的需要。
1傳統(tǒng)經(jīng)典爪式泵的工作原理
     （1)單級爪泵的工作原理:
     如圖1所示，在圖la位置A腔和進(jìn)氣口4接通，隨著轉(zhuǎn)子對的同步反方向運(yùn)動A腔容積變大，氣體就吸入泵內(nèi)，B腔內(nèi)的氣體也在轉(zhuǎn)子對的作用下得到了逐漸壓縮，我們稱為吸氣過程;圖1b位置A腔容積繼續(xù)變大，繼續(xù)吸氣，同時(shí)，B腔的容積在轉(zhuǎn)子對的同步反方向運(yùn)動下逐漸變小，運(yùn)動到和排氣口接通的位置氣體通過排氣口排到下一級，這個(gè)過程一直會持續(xù)到圖lc位置，吸氣和排氣同時(shí)進(jìn)行，簡稱為吸排氣過程;在圖lc位置A腔達(dá)到了最大容積，吸氣結(jié)束和B腔的容積達(dá)到了最小，排氣結(jié)束。轉(zhuǎn)子擋住了進(jìn)氣口和排氣口，起到了自動關(guān)閉的作用;在圖1d位置隨著轉(zhuǎn)子的運(yùn)轉(zhuǎn)，B腔內(nèi)沒有被排出去的氣體和A腔內(nèi)被吸入的氣體混合到了一起，既不吸氣也不排氣，我們稱為過渡過程;
     不間斷重復(fù)以上3個(gè)過程，達(dá)到了連續(xù)不間斷抽真空的目的，由于泵腔內(nèi)無需用水或油等介質(zhì)，有如下的優(yōu)勢:能抽各種化學(xué)氣體、特殊不銹鋼材料制做的爪泵還能抽腐蝕性氣體。在航天、制藥、化工、核工業(yè)等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。